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シラン検知器 SKY-2000-SiH4 (データロガー内蔵)


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販売価格(税抜)： 230,000 円
(税込 253,000 円)
ポンプ吸引式の高精度ポータブル型シラン濃度計SKY2000-SiH4は0〜10 ppmまでシラン濃度を測定できるシランガス検知器です。吸引ポンプ内蔵型のため、ノズルにホースを接続することにより、狭い場所でのシランガス濃度測定にも対応することができます。また、指定した2 段階のガス濃度で電子音を鳴らすアラーム機能やゼロ校正機能、暗い場所でも測定値が見れるバックライト表示機能付きです。

SKY2000-SiH4は100,000メモリーを有するデータロガー機能が内蔵されており、測定中のシラン濃度を日時とともにメモリーできます。本体にメモリーされたデータは付属の通信ソフトとUSBケーブルを使用しパソコンにExcel形式で保存することができます。

主な用途: 導体や電子デバイス製造、太陽電池製造、ディスプレイパネル製造、化学工場や研究所その他、シランの漏えいがある環境等
仕様
測定範囲  0.00〜10.00 ppm 機能・表示  ゼロ校正、2段階アラーム
 データロガー (100,000メモリー)
 バックライト付き表示等
分解能  0.01 ppm ロギング間隔  5, 10, 20, 30秒
 1, 2, 5, 10, 20, 30分
 1時間選択
 精度  ±2%(フルスケール) 使用電池  3.6 V リチウムポリマー充電式電池
ガスセンサー  エレクトロケミカル 電池寿命  約12時間(充電4〜6時間)
使用環境温度  -20〜+50℃ 使用環境湿度  0〜95%RH (結露なきこと)
サイズ・重量  205×75×32mm

 約300g		 付属品  操作マニュアル、充電用ACアダプタ
 通信ソフト、USBケーブル
 テフロンホース1m、キャリングケース